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超純(chun)水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達(da)到18 MΩ*cm（25℃）的(de)(de)水(shui)(shui)。這(zhe)種水(shui)(shui)中除(chu)了水(shui)(shui)分子外，幾乎沒(mei)有什么雜(za)質(zhi)，更沒(mei)有細菌、病毒、含(han)氯二噁英等有機物，當然(ran)也(ye)沒(mei)有人(ren)體所(suo)需(xu)的(de)(de)礦物質(zhi)微(wei)量元素，也(ye)就是幾乎去除(chu)氧(yang)和氫以(yi)外所(suo)有原子的(de)(de)水(shui)(shui)。可以(yi)用(yong)于超(chao)純材料（半導(dao)體原件材料、納米精(jing)(jing)細陶瓷(ci)材料等）應用(yong)蒸餾、去離子化(hua)、反(fan)滲(shen)透技(ji)術(shu)(shu)或(huo)其(qi)它適當的(de)(de)超(chao)臨(lin)界精(jing)(jing)細技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)制備過程。